氮化硅陶瓷加工設備

氮化硅是在 19 世紀中葉被發(fā)現的，但由于其共價(jià)鍵合性質(zhì)，因此并不易于制造。這最初導致了兩種類(lèi)型的氮化硅的發(fā)展，即反應鍵合氮化硅 (RBSN) 和熱壓氮化硅 (HPSN)。隨后，自 1970 年代以來(lái)又開(kāi)發(fā)了兩種類(lèi)型：燒結氮化硅 (SSN)，包括賽隆，以及燒結反應鍵合氮化硅 (SRBSN)。